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新聞詳情

ATV真空回流爐簡單介紹

日期:2025-03-15 00:38
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摘要:
  

ATV真空回流爐焊接

整體設計思路:原位快速溫度變化控制來實現(xiàn)復雜的熱處理溫度曲線,工件在整個回流工藝進行中不移動,保證較高的位置精度以及快速的溫度響應。

加熱方式: 陣列式石英燈紅外輻射加熱工作板,工作板通過熱傳導加熱工件,加熱速度較快,*高可達230℃/分鐘;工作板與石英燈分離,維護方便,可以對溫度均勻性分布進行優(yōu)化;工作板采用不易磨損、高強度的AL板,加鍍光學涂層,能*大限度的吸收輻射能量,控溫精度優(yōu)于±1℃。

冷卻方式:多個噴嘴向工作板底部吹室溫惰性氣體(如氮氣)進行冷卻,冷卻均勻且無震動,無需維護



標配*高溫度為450℃,700/714/716可選*高750℃,706可選*高1000℃或1100℃(單晶圓工藝)
快速**溫度控制,加熱板升溫速度可達200℃/分鐘(室溫到450℃),降溫速度可達100℃/分鐘(150℃以上)
基于Windows 10 的工藝過程控制編輯程序,控制步驟可達100步以上
觸摸屏式PLC顯示控制器,可存儲10個常用工藝程序,菜單按鈕式操作;計算機控制軟件自動記錄各種工藝數(shù)據(jù)
高氣密性的真空腔室,通過適當?shù)某檎婵占案呒兊獨饣靥畹难h(huán),腔室內O2含量可控制在1ppm以內
多種真空泵系統(tǒng)可選:油封旋片泵、無油干式泵、分子泵等
714和706可支持3bar正壓工藝
多種工藝氣氛:N2、 HCOOH(N2載氣)、N2/H2、**2
ArH2等離子體輔助工藝可選
腔室頂蓋配有觀察窗
適用多種回流工藝:無助焊劑、有助焊劑及焊膏(需配備助焊劑管理模塊)
完善的系統(tǒng)狀態(tài)監(jiān)控及**互鎖設計

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