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新聞詳情

ATV真空回流爐說明介紹

日期:2025-03-15 00:52
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摘要:
 ATV真空回流爐系統(tǒng)介紹
冷卻系統(tǒng)
  分為(ATV真空回流爐)內(nèi)循環(huán)和外循環(huán) 內(nèi)循環(huán):設(shè)備內(nèi)部有個水箱,內(nèi)裝有DI water,通過水泵將水箱里面水進行循環(huán),用來冷卻加熱板、法蘭、plasma。外循環(huán):客戶提供外部冷卻水用來冷卻水箱。
加熱系統(tǒng)
  包括主加熱和邊緣加熱。
  主加熱也就是整個加熱板。占加熱的95%。
  邊緣加熱是在熱板的四周追加邊緣加熱絲,為了更好的提高熱板的均勻性,增大工藝有效面積。
真空系統(tǒng)
  真空泵(ATV真空回流爐)抽真空流程:將腔體內(nèi)部氣體——主閥——真空泵——管道(通過加熱絲)——排風里面。 真空部分有個過壓閥,腔體壓力過大時會自動打開泄壓。
測量系統(tǒng)
  除了控制加熱的TC之外,設(shè)備腔體內(nèi)部還有6組測量TC,用于實時監(jiān)控產(chǎn)品溫度。

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